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lighthouse粒子计数器在半导体制造质量控制的 5 种应用方式-北京中邦兴业
2023-07
半导体制造中的质量控制表面上很简单:创造质量始终如一的产品。这句话说起来容易,但要真正实施却非常困难。质量控制涉及深入了解您正在设计的产品、您现有的流程以及可能出错的地方。
        在洁净室中,在质量控制方面需要考虑额外的复杂性。您不仅要确保所创造产品的一致性,而且还必须确保它们不会受到微观水平的污染。在半导体制造中,这种微观污染会导致产品故障。
        反过来,故障产品可能导致召回、声誉受损和巨大的财务打击。避免这种情况的最佳方法是在您的洁净室中建立可靠的环境监测系统(EMS)。良好的EMS的基础是固体粒子计数器。这些空气中的粒子计数器在帮助增强半导体制造中的质量控制方面大有帮助。
实时监控和早期污染检测

        当出现问题时,您希望立即知道。这就是实时监测粒子计数器的用武之地。粒子计数器持续监测洁净室或半导体制造的特定工艺区域中的粒子浓度。它们提供有关颗粒计数和大小的实时数据,使您能够及时检测出与所需清洁度标准的任何偏差。这种实时监控支持主动决策和即时纠正措施以保持质量。
        您可以通过战略性地设计实时监控系统来最大限度地利用这种早期检测。利用您的专业知识,您可以确定高风险区域的位置,以及污染物最有可能进入洁净室的位置。这可能来自外部来源,例如通过通风口,也可能来自内部来源,例如有大量的人流量或可能脱落颗粒的工具。
        人类是洁净室污染的主要因素。事实上,仅人类就占洁净室中脱落颗粒的75%至85%。每分钟,我们平均脱落40,000个皮肤颗粒。我们的皮肤、头发和衣服每分钟产生大约 100,000 个 0.3 微米或更大的颗粒,但当我们移动时,这个数字增加到超过 5,000,000 个颗粒。
        因此,为了确保您的质量控制在半导体制造过程中保持不变,战略性地设计一个实时监控系统,在污染的最早阶段提醒您,可以防止产品损坏。
工艺和洁净室验证

        验证是运行洁净室的关键部分,包括监控质量控制。洁净室必须在一系列法规要求下运行,例如ISO 14644。这定义了洁净室需要满足的标准才能符合某些分类。其他组织可能会选择寻求特定的质量控制认证,例如ISO 14001,它提供了一致的质量控制措施的证据。
        粒子计数器是收集实现这些验证所需数据的关键组件。
根本原因分析

        在产品缺陷或质量问题的情况下,粒子计数器有助于根本原因分析。通过比较不同工艺阶段的颗粒计数数据,制造商可以查明污染的来源和时间。该分析有助于识别有助于颗粒产生或引入的特定设备、程序或材料,从而采取有针对性的纠正措施,以防止将来发生类似缺陷。
趋势分析

        粒子计数器提供有关一段时间内粒子计数的历史数据。通过分析颗粒水平的趋势,制造商可以识别模式以及与生产参数或环境条件的相关性。该分析有助于建立基线水平并确定潜在的颗粒污染源。通过监控和分析趋势,制造商可以做出数据驱动的决策,以优化流程、减少颗粒数量并增强整体质量控制。
报告文件

        粒子计数器生成详细的报告和颗粒计数测量文档,因此您可以保持质量控制活动的全面记录。这些记录可作为遵守管理法规要求、客户规范和行业标准的证据。文档有助于审核、质量认证和客户审核,确保质量控制过程的透明度和问责制。
您应该如何选择粒子计数器进行半导体制造中的质量控制?

        最终,粒子计数器在帮助改善半导体制造中的质量控制方面大有帮助,帮助您避免召回和声誉受损。但是,当您选择粒子计数器时,您应该从哪里开始呢?要开始做出决定,您首先需要确定您需要哪种类型的粒子计数器。主要分为三个类别:手持式、便携式和远程式。
        手持式粒子计数器非常小且方便,但它们没有真空,因此它们工作得非常缓慢以获得结果。因此,它们有时可能不太准确。在紧要关头和小范围内,它们可以工作,但对于更严重或常规的使用,有更好的选择。
        便携式粒子计数器是三个选项中最大的一个,但也是最通用的。它们被设计为在洁净室周围移动,以获得不同区域的读数,这在验证过程中会有所帮助。像lighthouse的ApexZ这样的型号设计符合人体工程学,具有持久的电池和闪电般的快速充电速度。此外,ApexZ具有板载触摸屏,因此您无需离开洁净室即可获得结果。
        远程粒子计数器很小,设计用于在粒子计数器网络中工作。它们不是为移动而设计的,也没有内置屏幕。相反,他们将信息发送到外部计算机。从本质上讲,它们是一种永久的解决方案,在已建立的系统中运行得非常好。
        一旦确定了粒子计数器的主要目标,您将需要寻找具有多种连接选项的粒子计数器,以适应您已经拥有的系统,同时用户友好。您还需要确定洁净室需要哪种分类,并确保您的粒子计数器能够测量这些尺寸的颗粒。



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