激光尘埃粒子计数器(APC)在监测和维护洁净室空气的清洁度方面发挥着至关重要的作用。APC有两种基本类型:便携式和定点远程。每种类型都有其独特的功能和应用,使其适用于污染控制的各种场景。
便携式激光尘埃粒子计数器APC是配备有控制仪器的用户界面或操作面板的独立单元。这些设备包括一个内置的取样系统,便于运输。用户界面允许用户建立样本参数、收集数据,并在必要时将这些数据传输到外部系统。空气取样系统,无论是真空泵还是鼓风机,都必须提供经过充分过滤的排气系统,以防止污染测试环境。便携式激光尘埃粒子计数器APC可以使用内部电池或通过交流壁式插座运行。
便携式APC根据其气流采样率进行区分,以立方英尺/分钟(CFM)或升/分钟(LPM)为单位报告每分钟的体积。主要类型包括:
1. Handheld APCs:这些具有0.1 CFM(2.83 LPM)或更低的低样品流速。它们结构紧凑,便于快速检查。
1. Standard Flow Portable APCs(ApexZ3):样品流速为1.0 CFM(28.3 LPM),是一般洁净室操作中最常用的类型。
High Flow Portable APCs(ApexZ50):这些样品的流速大于1.0 CFM(28.3 LPM)。常见的高流速包括50 LPM、2.0 CFM、75 LPM和100 LPM。这些高流速仪器在洁净室认证测试中非常有用,因为它们可以快速对大量空气进行采样。例如,高流速APC可以在a级环境中比标准流速APC更快地采样一立方米空气。
定点远程粒子计数器APC比便携式APC更小、侵入性更小、更坚固,允许它们连接到工艺设备、洁净室墙壁或运输设备上。它们非常适合监控在制造过程中产品完整性可能面临风险的关键工艺位置
APC的样品流速通常为0.1 CFM(2.83 LPM)或1.0 CFM(28.3 LPM),后者在大多数应用中是首选。这些设备可以记录数据或将其传输到外部系统,如建筑管理系统(BMS)、不可行粒子监测系统(NVPMS)或设施监测系统(FMS)。
远程粒子计数器APC的类型:远程APC主要有两种类型:带内置泵的和没有内置泵的。
Remote APCs with Built-in Pumps:这些装置通过泵或鼓风机内置了样品处理系统,并对装置排出的所有空气进行了必要的过滤。它们比没有泵的装置更大、更响亮、更昂贵,但不需要全设施的真空泵和分配系统。
Remote APCs without Pumps:这些装置需要外部真空源,比内置泵的装置更小、更安静、更便宜。它们的服务成本较低,因为没有过滤器或小型泵需要维护。然而,配套设施范围内的真空泵和分配系统需要定期维修,必须为APC提供足够的流量和真空,以使其正常运行。一些远程APC具有内置的流量监测功能,以确保正确的空气样本流量。
了解不同类型的激光尘埃粒子计数器及其具体应用对于在洁净室和其他敏感环境中保持污染控制至关重要。便携式APC为各种应用提供了灵活性和易用性,而定点远程APC则提供了强大的连续监测解决方案。通过选择合适类型的APC,企业可以确保其符合严格的清洁标准,并保持无污染的环境。
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