为什么需要洁净室:由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小,在一块小小的芯片上,整合了许许多多的元器件,因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等),因为这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行,以尽量将污染源和硅片隔离。
洁净室照片-UMC官网
温度:23±1℃
湿度:45±3%rh
噪声:烦恼效应,语言通讯干扰,影响工作效率,低频噪声影响设备
压力:正压与负压是相对而言,一个洁净室对大气而言是正压洁净室,但对另外一个房间而言可能是负压洁净室。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差不小于5Pa,洁净区与室外的压差不小于10Pa.
静电:地面的面层应具有导电性能,并应保持长时间性能稳定,采用静电耗散性材料,表面电阻率1◊105Ω- 1◊1012Ω,地面应设有导电泄放措施和接地构造,流动液体,气体或粉体管道应采取防静电接地措施。
振动:精密设备、精密仪器仪表的容许振动值应由生产工艺和设备制造部门提供。振动尤其对光刻设备影响巨大。
生产区:1000级
黄光区:100级
Mask光罩区:10级
通常通过服装,MAU,FFU及入口的风淋室等控制手段,可有效控制颗粒物的产生。
这个种方式是半导体业界最常用的一种方式,也叫激光粒度仪,激光粒度仪是基于光衍射现象设计的,当光通过颗粒时产生衍射现象(其本质是电磁波和物质的相互作用)。衍射光的角度与颗粒的大小成反比。不同大小的颗粒在通过激光光束时其衍射光会落在不同的位置,位置信息反映颗粒大小;同样大的颗粒通过激光光束时其衍射光会落在相同的位置。衍射光强度的信息反映出样品中相同大小的颗粒所占的百分比多少。激光衍射法就是采用一系列的光敏检测器来测量位置粒径的颗粒在不同角度上的衍射光的强度,使用衍射模型,通过数学反演,然后得到样品的粒度分布。通过该位置检测器接收到的衍射光强度,得到所对应颗粒粒径的百分比含量。
Lighthouse SOLAIR 1100LD(激光二极管)是业界领先的同类便携式粒子计数器,采用激光二极管技术,具有0.1微米的灵敏度和1.0 CFM(28.3 LPM)的流速。传统的HeNe(氦氖)粒子计数器需要频繁清洁,定期更换激光管,并且浓度限制较低。SOLAIR 1100LD设计用于ISO 1级至7级洁净室,无需担心污染环境或浓度超标。
其他环境测试:SOLAIR能够记录多达4个环境传感器的数据,这些传感器插入SOLAIR并由其供电。数据被存储在3000条记录的缓冲区中,并可通过USB密钥与粒子计数数据一起下载到您的计算机。
可靠性:SOLAIR便携式粒子计数器系列采用先进的激光二极管技术和闭环反馈真空系统,确保准确的样品体积和长期可靠性。SOLAIR 1100LD的设计、制造和校准均符合ISO 21501-4标准,确保颗粒计数的准确性。同时,SOLAIR还能存储多达8个粒子通道的3000条粒子计数数据记录和50个采样和报告配方,所有数据都能快速、可靠地传输到计算机或监控系统中。