半导体制造过程的要求非常高，对有灰尘存在的环境是非常敏感的。无尘室技术可以实现很好的环境控制和有效的过滤作用，使得制造过程不受污染或污染度极低。这为半导体制造工艺的高品质、高效率提供了无限的可能性。

洁净室（Clean Room）：具体的功能是控制微粒污染。Fab厂往往按照ISO 14644-1的标准建立，具体分成一级、二级、三级到九级等，等级数越低，颗粒越少。

不同制程对应的洁净度要求？

在MEMS厂中，不同工艺车间对应的洁净度等级通常根据ISO 14644标准进行分类和评估。

光刻车间：光刻车间通常是MEMS制造中最关键的一个工艺步骤，因此对洁净度要求相对较高。一般来说，光刻车间的洁净度等级可能达到ISO 14644-1标准中的Class 5（百级）或更高级别。

沉积/刻蚀车间：在沉积和蚀刻工艺中，洁净度要求相对较高，以确保沉积和蚀刻过程中不会引入外部杂质。这些车间通常符合ISO 14644-1标准中的Class 5（百级）至Class 6（千级）级别。

清洗车间：清洗车间用于清洗制造过程中的器件和基板，以去除残留的杂质和化学物质。由于洁净度要求较高，以确保清洁过程不会引入新的污染，因此清洗车间通常符合ISO 14644-1标准中的Class 5（百级）至Class 6（千级）级别。

封装车间：封装车间用于对MEMS器件进行封装，保护器件并提供外部连接。封装车间的洁净度要求相对较低，因此可能符合ISO 14644-1标准中的Class 6（千级）至Class 7（万级）。

测试车间：测试车间用于对封装后的MEMS器件进行性能测试和质量控制。由于测试过程不会直接影响器件的制造和封装，因此洁净度要求相对较低，通常符合ISO 14644-1标准中的Class 7（万级）或更低级别。

半导体洁净室的主要目的是提供一个高度清洁的生产环境，以减少产品受到污染的风险。以下是洁净室的几个重要洁净要求：

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便携式激光尘埃粒子计数器

lighthouse便携式激光尘埃粒子计数器Solair系列1100/3100/3350/5100等，其中lighthouse Solair1100 是行业内能够持续使用的 28.3 升 0.1微米感应度的便携式粒子计数器，是半导体行业应用最为广泛的一款型号。

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浮游微生物采样器

lighthouse浮游菌采样器，基于安德森撞击原理，撞击速度达19m/s，适用于无尘室和无菌环境的微生物采集。连续和周期性的采样，可以完全控制采样周期和间隔。高压撞击头部和消隐不锈钢外壳，确保ActiveCount100不会污染使用环境。使用可选的高压气体取样器（高压扩散器），可直接采集压缩空气的浮游菌。

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气流流型检测仪

北京中邦兴业自主研发OCEAN ONE气流流型检测仪，主要应用于观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。

根据ISO14644-3 及新GMP对洁净厂房验收需要对气流方向进行评价。OCEAN ONE气流流形仪可以产生高浓度水雾气（粒径范围：集中度80%以上），高可见度及绝对无污染。当水雾气在洁净室内散发后，没有可测的残留物质。OCEAN ONE可适用于半导体，制药类洁净车间。