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Model
M3300V
M3300A
流量范围(N2)   100slpm ~ 300slpm   100slpm ~ 300slpm
  响应时间   <2 sec   <2 sec
精准度   ≤±1% FS   ≤±1% FS
  重复精度   ±0.25% FS   ±0.25% FS
  输入/输出信号   0~5 Vdc   0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源   ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA   ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
 耐压   <15 bar   <15 bar
工作环境温度   0~50 °C   0~50 °C
漏率   1*10E-9 atm cc/sec   1*10E-9 atm cc/sec
使用范围   2 ~ 100%   2~ 100%

 

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